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- 1、国仪扫描电镜
国仪扫描电镜
激光智能制造研发中心引进了国仪量子研制的场发射扫描电镜SEM5000,该电镜为深入分析焊接接头微观组织及形貌、接头失效等研究提供了重要支持。扫描电镜的优秀分辨率和探测器性能,加速了研发进程,支持了“牛顿环”电阻点焊技术和铝硅涂层激光焊接技术的开发研究。
国仪量子SEM5000X:虽其为超高分辨场发射扫描电镜,但也可作为原子力显微镜的选择。它分辨率达0.6 nm@15 kV和0 nm@1 kV,采用肖特基场发射电子枪、高压隧道技术及双减速模式,支持低电压高分辨率成像。应用于半导体、材料科学领域,适配8寸晶圆快速换样仓,五轴机械优中心样品台扩展了实验灵活性。
扫描电镜的SE和BSE模式的区别:收集信号不同。SE:二次电子;BSE:背散射电子分辨率不同。SE:高;BSE:低图像衬度不同。SE:形貌衬度;BSE:质厚衬度应用目的不同。